1、《真空科学与技术学报》文稿要求：内容新颖、论点明确、力求文字精炼、准确、通顺，文题简明扼要，文稿应资料可靠、数据准确、书写规范，文责自负。

2、《真空科学与技术学报》文中使用他人成果，务必标明并在文后参考文献中列出细目。

3、《真空科学与技术学报》论文涉及的课题如取得国家或部、省级以上专项基金或属攻关项目，应注于文章正文下方。

4.文稿务必立论明确,论证严谨,数据可靠,文字精练。特约稿、综述论文一般8000字以内,学术论文6000字以内,技术交流4000字以内,科技简讯2000字以内,来稿请填好中图分类号。

5.文稿要求用A4纸单面1.5倍行间距,小四号字打印,一式两份。来稿时,请附上作者中联系人、联系电话和电子信箱地址。如可能,请附寄磁盘。

6.稿件请按本刊格式整理,除正文以外,要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单位、论文摘要300字左右、关键词4～6个。